方案概述

前言：

蝕刻液中銦、錫的濃度變化會直接影響蝕刻速率和圖案精度。通過測定含量，可精準(zhǔn)控制蝕刻條件，避免因濃度波動導(dǎo)致蝕刻不徹底或過度，從而保證產(chǎn)品良率。并且銦和錫均為稀有金屬，尤其銦價格昂貴。檢測可判斷蝕刻液是否“壽命終止”，既能避免提前更換造成浪費，又能監(jiān)控廢液中金屬濃度，便于高效回收和再利用，顯著降低生產(chǎn)成本。

同時隨著蝕刻進(jìn)行，溶解的銦、錫會不斷積累。定期測定可掌握浴液老化程度，決定是添加新液還是更換整槽液，從而維持生產(chǎn)線的連續(xù)穩(wěn)定。

含銦、錫的廢液屬于有害物質(zhì)。準(zhǔn)確測定其含量是廢水處理、申報及滿足環(huán)保排放標(biāo)準(zhǔn)的必要環(huán)節(jié)，有助于企業(yè)合規(guī)處置，避免環(huán)境風(fēng)險。

關(guān)鍵詞：原子吸收；石墨爐法；蝕刻液；銦；錫。

1.實驗方法

1.1 儀器配置

表1 原子吸收分光光度計配置清單

序號	名稱	數(shù)量
1	AA2310原子吸收分光光度計	1
2	GF2310石墨爐電源	1
3	AS2310自動進(jìn)樣器	1
4	冷卻水循環(huán)機	1
5	高純氬氣	1
6	銦空心陰極燈	1
7	錫空心陰極燈	1

1.2 試劑及實驗材料

1.2.1 銦標(biāo)準(zhǔn)溶液：1000mg/L；

1.2.2 錫標(biāo)準(zhǔn)溶液：1000mg/L；

1.2.3 鹽酸：優(yōu)級純；

1.2.4 硝酸：優(yōu)級純；

1.2.5 高氯酸：優(yōu)級純；

1.2.6 聚四氟乙烯坩堝；

1.2.7 數(shù)顯電熱板。

2.結(jié)果與討論

2.1 元素的光譜條件

參數(shù)	In(銦)	Sn(錫)
電流 (mA)	3	4
光譜帶寬 (nm)	0.2	0.4
特征波長(nm)	303.9	286.3
背景校正	AA-BG	AA-BG

2.1.1 標(biāo)曲測試

標(biāo)準(zhǔn)曲線系列梯度濃度表(μg/L)
組分名稱	標(biāo)曲1	標(biāo)曲2	標(biāo)曲3	標(biāo)曲4	標(biāo)曲5	標(biāo)曲6
銦元素	5	10	20	30	40	50
錫元素	5	10	20	30	40	50

銦元素標(biāo)準(zhǔn)曲線

錫元素標(biāo)準(zhǔn)曲線

2.1.2 某樣品測試結(jié)果

樣品名稱	檢測元素	樣品量（mL）	定容體積（mL）	稀釋倍數(shù)	測試濃度（μg/L）	樣品含量（μg/L）
樣品	銦元素	1.0	10	1	n.d.	未檢出
樣品	錫元素	1.0	10	2	10.5208	210